Pat
J-GLOBAL ID：200903000975487380
金属膜体の製造方法及び製造装置
Inventor：
,
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宇高 克己
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994141471
Publication number (International publication number)：1996003746
Application date： Jun. 23, 1994
Publication date： Jan. 09, 1996
Summary：
【要約】【目的】 酷いカールを改善でき、ヘッドとの当たりが良い金属膜体の製造技術を提供することである。【構成】 支持体上に金属膜が設けられてなる金属膜体の製造方法であって、支持体上に金属膜を設ける成膜工程と、成膜後、表面に液体を付け、加熱、押圧する工程とを具備する金属膜体の製造方法。
Claim (excerpt)：
支持体上に金属膜が設けられてなる金属膜体の製造方法であって、支持体上に金属膜を設ける成膜工程と、成膜後、表面に液体を付け、加熱、押圧する工程とを具備することを特徴とする金属膜体の製造方法。
IPC (3)：
C23C 14/58
, C23C 14/56
, G11B 5/85
