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J-GLOBAL ID：200903000977865005

ポジ型放射線感応性混合物

Inventor： マティアス、アイヒホルン ,  ゲルハルト、ブール
Applicant, Patent owner： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995105950
Publication number (International publication number)：1996044064
Application date： Apr. 28, 1995
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 印刷板およびフォトレジストの製造に使用できる放射線感応性記録材料を被覆するのに使用される混合物の提供。【構成】 a)酸に対して敏感な基を有する重合体状バインダー、およびb)照射により強酸を形成する化合物を含むポジ型放射線感応性混合物であって、バインダーが同時に式I、IIおよびIIIR1 -OH (I)R1 -O-CO2 R2 (II)R1 -O-CH2 -CHR3 -OH (III )の単位を含むことを特徴とする混合物。

Claim (excerpt)：

下記a)およびb)を含有することを特徴とするポジ型放射線感応性混合物。a)酸に対して敏感な基を有する重合体状バインダーおよびb)照射により強酸を形成する化合物[ここでバインダーa)が同時に式I、IIおよびIII の単位を含有する。R1 -OH (I)R1 -O-CO2 R2 (II)R1 -O-CH2 -CHR3 -OH (III )式中、R1 は、重合体の主鎖または側鎖中に結合された、所望により置換されたフェニル基であり、R2 は(C3 〜C11)アルキル、(C3 〜C11)アルケニルまたは(C7 〜C11)アラルキル基であり、R3 は水素原子、所望により置換されたアルキルまたはアリール基、フタルイミドメチル基または基-CH2 OR4(式中、R4 は水素原子、または脂肪族基、環状脂肪族基または芳香族基であり、前記基は所望により置換されていてよい。]

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/016 501 ,  H01L 21/027