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J-GLOBAL ID：200903000982087800
微粒子の荷電方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991131640
Publication number (International publication number)：1993107178
Application date： May. 08, 1991
Publication date： Apr. 27, 1993
Summary：
【要約】【構成】 電場において、光電子放出材3に紫外線2及び/又は放射線を照射することにより発生する光電子7による空間中の微粒子6の荷電方法において、電場設定用の電極4及び/又は光電子放出材3は微粒子の存在する空間に設け、該電極及び/又は光電子放出材の形状が金網状、棒状、線状、板状、格子状から選ばれた1種類以上からなる材料を用い、特に該電極4と光電子放出材3は近接して設けるのがよい。【効果】 電場用の印加電圧が低くでき、また、清浄空間内を電場の影響から排除でき、ウェハ等の電場の影響を受ける可能性のある物質が存在する空間にも使用できる。
Claim (excerpt)：
電場において、光電子放出材に紫外線及び/又は放射線を照射することにより発生する光電子による空間中の微粒子の荷電方法において、電場設定用の電極及び/又は光電子放出材は微粒子の存在する空間に設け、該電極及び/又は光電子放出材の形状が金網状、棒状、線状、板状、格子状から選ばれた1種類以上からなる材料を用いることを特徴とする微粒子の荷電方法。
IPC (4)：
G01N 15/14
, B03C 3/38
, G01N 15/02
, G01N 15/06
