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J-GLOBAL ID：200903000984318974
2次回折用ゾーンプレート及び軟X線顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993266869
Publication number (International publication number)：1995120597
Application date： Oct. 26, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：
【要約】【目的】 対物ゾーンプレートの有する分解能を十分に引き出すことができる集光用ゾーンプレートして、又は、大きい開口数の集光用光学素子に対応した高分解能を有する対物ゾーンプレートとして、用いることができるゾーンプレートと、それを用いた軟X線顕微鏡を提供する。【構成】 中央の円と、その周辺に交互に隣接して同心円状に形成した透過輪帯及び遮光輪帯の複数の対とからなるパターンを設けた薄板又は薄膜を少なくとも有するゾーンプレートにおいて、前記隣接する透過輪帯2及び遮光輪帯1について、遮光輪帯1の幅と透明輪帯2の幅の比を略1/3又は略3にして、2次回折光を主回折光としたことを特徴とするゾーンプレート。
Claim (excerpt)：
中央の円と、その周辺に交互に隣接して同心円状に形成した透過輪帯及び遮光輪帯の複数の対とからなるパターンを設けた薄板又は薄膜を少なくとも有するゾーンプレートにおいて、前記隣接する透過輪帯及び遮光輪帯について、遮光輪帯の幅と透明輪帯の幅の比を略1/3又は略3にして、2次回折光を主回折光としたことを特徴とするゾーンプレート。
IPC (2)：
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