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J-GLOBAL ID：200903000988888414

直進移動体の姿勢制御装置

Inventor： 藤田 勉 ,  滝谷 俊夫 ,  高松 繁男 ,  小村 明夫
Applicant, Patent owner： 日立造船株式会社
Agent (1)： 森本 義弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992013484
Publication number (International publication number)：1993204458
Application date： Jan. 29, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【構成】 直進移動体3の基準部の姿勢制御を行う際に、基準部に所定の5軸成分の変位を制御する弾性ヒンジ機構部を設け、かつ直進移動体3に照射される基準用レーザビーム4を3本に分割するとともに、この3本のレーザビームを、基準部および直進移動体3の外部に配置されたフォトダイオード14,15,17に入射して、その入射位置のずれをなくすように、上記各弾性ヒンジ機構部のピエゾアクチュエータを駆動させるようにした直進移動体の姿勢制御装置である。【効果】 直進移動体の基準直線に対する5軸成分の変位をそれぞれ分離することなく、5軸の姿勢制御を迅速に行うことができ、したがって高精度な直線移動機構を必要とする機器に組み込むことにより、各機器の性能の向上を容易に図ることができる。

Claim 1：

ガイド部材に沿って案内される直進移動体に基準直線用のレーザビームを照射するレーザ照射装置と、このレーザ照射装置から照射されたレーザビームを3本の平行な第1,第2および第3レーザビームに分割する光学系と、上記直進移動体の基準部にそれぞれ取り付けられて、上記分割されたレーザビームをそれぞれ受光する第1四分割フォトセンサー、二分割フォトセンサーおよび反射鏡と、上記直進移動体の外部に配置されるとともに上記反射鏡で反射されたレーザビームを受光する第2四分割フォトセンサーと、上記直進移動体に設けられて、基準部の鉛直方向変位、水平方向変位、基準直線に対するローリング角、基準直線に対するピッチング角、基準直線に対するヨーイング角をそれぞれ制御するアクチュエータを有する各弾性ヒンジ機構部とから構成し、かつ第1レーザビームが第1四分割フォトセンサーの中心に照射されるように上記鉛直方向変位および水平方向変位を制御する各弾性ヒンジ機構部のアクチュエータをそれぞれ駆動させ、第2レーザビームが第2四分割フォトセンサーの中心に照射されるように上記ピッチング角およびヨーイング角を制御する各弾性ヒンジ機構部のアクチュエータをそれぞれ駆動させ、第3レーザビームが二分割フォトセンサーの中心に照射されるように上記ローリング角を制御する弾性ヒンジ機構部のアクチュエータを駆動させるようにしたことを特徴とする直進移動体の姿勢制御装置。

IPC (3)：

G05D 3/12 ,  G01B 11/00 ,  G05D 3/00