カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ製造装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：早瀬憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001214734
Publication number (International publication number)：2003029017
Application date： Jul. 16, 2001
Publication date： Jan. 29, 2003
Summary：

【要約】【課題】外形規正による破損危険性の高いガラス基板を、高精度に位置決めを行う場合、装置の高価格化やタクトダウンによる生産性低下を引き起こすことなく、高精度な位置決めを行う事の可能なカラーフィルタ製造装置を提供するものである。【解決手段】少なくとも2種類以上の光学倍率にてアライメントマークを撮像する撮像手段を備え、低光学倍率による粗調整動作と高光学倍率による微調整動作の組み合わせによって、ガラス基板の正確な位置決めを行う事をできるよう構成した。

Claim (excerpt)：

複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを、基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出することにより製造するカラーフィルタの製造方法において、上記基板上に形成されているアライメントマークを、少なくとも低光学倍率、及び高光学倍率の2種類の光学倍率にて、撮像する撮像手段と、上記低光学倍率にて撮像した画像をもとに行うアライメント粗調整動作と、上記高光学倍率にて撮像した画像をもとに行うアライメント微調整動作とを行うアライメント調整手段とを備え、上記撮像手段により低光学倍率にて撮像した画像をもとに行うアライメント粗調整動作と、高光学倍率にて撮像した画像をもとに行うアライメント微調整動作とを組み合わせて行い、上記基板上の着色すべき領域と、上記インクジェットヘッドから吐出されるインクの着弾位置とが一致するように、上記基板の位置決めを行う、ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (2)：

G02B 5/20 101 , B41J 2/01

FI (2)：

G02B 5/20 101 , B41J 3/04 101 Z

F-Term (6)：

2C056EA24 , 2C056FB01 , 2H048BA11 , 2H048BA64 , 2H048BB02 , 2H048BB08

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