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J-GLOBAL ID：200903000990976398

リークディテクタ

Inventor：
井川 秋夫

About 井川 秋夫


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006354875
Publication number (International publication number)：2008164462
Application date： Dec. 28, 2006
Publication date： Jul. 17, 2008
Summary：
【課題】ヘリウムを含む複数のキャリアガスによるリーク検査を作業性良く行うことができるリークディテクタの提供。【解決手段】ヘリウムガスと水素ガスとの混合ガスが充填された校正用標準リーク6を装着して校正動作を行うことにより、ヘリウムガスおよび水素ガスの各検出感度をいっぺんに取得することができる。取得された各検出感度は記憶部72に記憶される。そして、いずれのキャリアガスでリーク検査を行うかが操作部71により指示されると、指示されたキャリアガスが検出できるように分析管5の加速電圧が設定され、指示されたキャリアガスの検出感度を用いてリーク量が算出される。その結果、キャリアガスの異なるリーク検査を切り替えて行う場合に、リーク検査作業時間の短縮を図ることができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
被検体からのキャリアガスを分析管に導いて検出し、前記キャリアガスの検出感度に基づいて前記被検体のリーク量を算出するリークディテクタにおいて、 複数のキャリアガスに対する各々の検出感度を記憶する記憶部と、 前記複数のキャリアガスからリーク量測定に用いるキャリアガスを選択する選択手段と、 前記選択手段で選択されたキャリアガスに応じて、前記分析管のキャリアガスイオンを検出するためのパラメータを変更する変更手段と、 前記選択手段で選択されたキャリアガスに応じて、前記記憶部に記憶されている複数の検出感度のいずれか一つをリーク量算出用検出感度に設定する設定手段とを備えたことを特徴とするリークディテクタ。
IPC (4)：
G01M 3/20 ,  G01M 3/00 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/30
FI (4)：
G01M3/20 Z ,  G01M3/00 J ,  G01N27/62 H ,  H01J49/30
F-Term (10)：
2G041CA01 ,  2G041EA05 ,  2G041EA12 ,  2G041GA02 ,  2G067CC11 ,  2G067CC13 ,  2G067DD17 ,  2G067DD18 ,  2G067EE14 ,  5C038HH07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)
  • ガス分析装置
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願平11-511786   Applicant：アルカテル

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