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J-GLOBAL ID：200903000992425712

多分枝型ポリアルキレンオキシドポロゲンおよびその製造方法並びにそれを用いた低誘電性絶縁膜

Inventor： イ チャンジン ,  カン ヨンク ,  カン ジョング ,  キム ヒジョン ,  ジン ムンヨン ,  ソク サンイル ,  チャ クックホン ,  シュ サン-ヒュン
Applicant, Patent owner： コリア リサーチ インスティチュート オブ ケミカル テクノロジー
Agent (1)： 杉村 興作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002110253
Publication number (International publication number)：2003040998
Application date： Apr. 12, 2002
Publication date： Feb. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】 多分枝型ポリアルキレンオキシドポロゲンとそれを用いた低誘電性絶縁膜の提供。【解決手段】 中心分子(D)に直鎖型、2分枝型または4分枝型側鎖(W)が結合した構造を有する下記一般式(I)で表される多分枝型ポリアルキレンオキシドポロゲン、そして前記一般式(I)で表されるポロゲンとポリシルセスキオキサンのような高耐熱性樹脂が含まれた溶液をコーティングし、熱処理してポロゲンを熱分解して製造されたもので、微細な気孔を含むので、低い非誘電常数を有する絶縁膜に関する。【化1】(式中、Wは特定の側鎖であり、Yを構成する特定の基を介して、特定の中心分子Dに結合される。)

Claim (excerpt)：

中心分子(D)に直鎖型、2分枝型または4分枝型側鎖(W)が結合された構造を有する、下記一般式(I)で表される多分枝型ポリアルキレンオキシドポロゲン。【化1】(式中、Dは、【化2】から選ばれ;Wは、【化3】から選ばれ;Yは、中心分子と側鎖を連結する基であって、【化4】から選ばれ;この際、jとkは各々0または1〜4の自然数であり;Zは、【化5】であり、R1は、 水素原子、メチル基、エチル基およびフェニル基から選ばれ;Rは、【化6】であり、この際、nとmは各々0または1〜30の自然数であり;R2は、水素原子、C1〜C5のアルキル基およびベンジル基から選ばれ;lは3〜8の自然数である。)

IPC (15)：

C08G 65/329 ,  C07C 41/03 ,  C07C 43/23 ,  C07C 67/08 ,  C07C 68/00 ,  C07C 69/708 ,  C07C 69/74 ,  C07C 69/76 ,  C07C 69/96 ,  C07F 7/21 ,  C08G 65/26 ,  C08J 9/02 CFJ ,  H01B 3/46 ,  H01L 21/312 ,  C08L 71:02

FI (15)：

C08G 65/329 ,  C07C 41/03 ,  C07C 43/23 D ,  C07C 67/08 ,  C07C 68/00 C ,  C07C 69/708 Z ,  C07C 69/74 Z ,  C07C 69/76 Z ,  C07C 69/96 Z ,  C07F 7/21 ,  C08G 65/26 ,  C08J 9/02 CFJ ,  H01B 3/46 D ,  H01L 21/312 C ,  C08L 71:02

F-Term (48)：

4F074AA76 ,  4F074CA13 ,  4F074CC04Y ,  4F074DA03 ,  4F074DA12 ,  4F074DA47 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AB78 ,  4H006AC48 ,  4H006BJ50 ,  4H006BP10 ,  4H006GN06 ,  4H006GP03 ,  4H006KA06 ,  4H006KC20 ,  4H006KC30 ,  4H049VN01 ,  4H049VP04 ,  4H049VQ87 ,  4H049VR22 ,  4H049VR42 ,  4H049VS87 ,  4H049VT17 ,  4H049VT40 ,  4H049VV02 ,  4H049VW01 ,  4J005AA04 ,  4J005AA21 ,  4J005BD02 ,  4J005BD03 ,  4J005BD08 ,  5F058AA10 ,  5F058AC03 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5G305AA07 ,  5G305AB10 ,  5G305AB24 ,  5G305BA09 ,  5G305BA18 ,  5G305CA13 ,  5G305CA26 ,  5G305CA37 ,  5G305CA39 ,  5G305CD20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 選択的に官能化しうるデスデンドリマー類
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平9-511637   Applicant：ブラッコ・エッセ・ピ・ア