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J-GLOBAL ID：200903001003012486

薬液精製用吸着剤およびその調製方法

Inventor： 山本 賢一 ,  下野 次男
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993008740
Publication number (International publication number)：1994233930
Application date： Jan. 22, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：

【要約】【目的】フッ酸含有薬液の精製に用いて半導体装置の製造プロセスで使用できる高純度レベルの精製が可能となる吸着剤を提供する。【構成】マグネチックスターラー1上の反応容器2に析出させる金属(金または銀)を含有する希フッ酸溶液3を入れ、この溶液にシリコン粒子4を添加し、攪拌子5で所定時間攪拌して金属を析出させた後、純水で十分に水洗して調製する。

Claim (excerpt)：

シリコン粒子と該シリコン粒子の表面に部分的に析出されイオン化傾向がシリコンより小さな金属とを含むことを特徴とする薬液精製用吸着剤。

IPC (3)：

B01J 20/02 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/308