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J-GLOBAL ID：200903001008680410

高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法

Inventor： 畠山 潤 ,  原田 裕次 ,  河合 義夫 ,  笹子 勝 ,  遠藤 政孝 ,  岸村 眞治 ,  前田 一彦 ,  大谷 充孝 ,  小森谷 治彦
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社 ,  松下電器産業株式会社 ,  セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 小島 隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001393354
Publication number (International publication number)：2003192735
Application date： Dec. 26, 2001
Publication date： Jul. 09, 2003
Summary：

【要約】【解決手段】 繰り返し単位(1m)、(1n)、(1p)を含む高分子化合物。【化1】(R<SP>1</SP>、R<SP>2</SP>はH、F、アルキル基又はフッ素化アルキル基、R<SP>3</SP>はF又はフッ素化アルキル基、R<SP>4</SP>は酸不安定基、R<SP>5a</SP>、R<SP>5b</SP>、R<SP>6a</SP>及びR<SP>6b</SP>はH、OH、アルキル基又はフッ素化アルキル基、(CH<SB>2</SB>)<SB>d</SB>CO<SB>2</SB>R<SP>7</SP>又は(CH<SB>2</SB>)<SB>d</SB>C(R<SP>8</SP>)<SB>2</SB>(OR<SP>7</SP>)、R<SP>7</SP>は酸不安定基、密着性基、水素原子又はアルキル基又はフッ素化アルキル基、R<SP>8</SP>はH、F、アルキル基又はフッ素化アルキル基、0≦m<1、0<n<1、0≦p<1、0<m+n+p≦1であり、m、pは同時に0にならない。cは0又は1、dは0〜6、Xはメチレン基、エチレン基、酸素原子、又は硫黄原子。)【効果】 本発明のレジスト材料は、高エネルギー線に感応し、200nm以下、特に170nm以下の波長における感度が優れている。

Claim (excerpt)：

下記繰り返し単位(1m)、(1n)、(1p)を含むことを特徴とする高分子化合物。【化1】(式中、R<SP>1</SP>、R<SP>2</SP>は同一又は異種の水素原子、フッ素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。R<SP>3</SP>は同一又は異種のフッ素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のフッ素化されたアルキル基であり、R<SP>4</SP>は酸不安定基である。R<SP>5a</SP>、R<SP>5b</SP>、R<SP>6a</SP>及びR<SP>6b</SP>は水素原子、水酸基、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基、(CH<SB>2</SB>)<SB>d</SB>CO<SB>2</SB>R<SP>7</SP>、又は(CH<SB>2</SB>)<SB>d</SB>C(R<SP>8</SP>)<SB>2</SB>(OR<SP>7</SP>)である。R<SP>7</SP>は酸不安定基、密着性基、水素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。また、R<SP>5a</SP>、R<SP>5b</SP>、R<SP>6a</SP>及びR<SP>6b</SP>はこれらの2つが結合して環を形成していてもよい。環を形成する場合、R<SP>5a</SP>、R<SP>5b</SP>、R<SP>6a</SP>、R<SP></SP><SP>6b</SP>は、酸素原子又はエステル基を含んでもよい炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキレン基又はフッ素化アルキレン基である。R<SP>8</SP>は水素原子、フッ素原子、同一又は異種の炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基であり、少なくとも1個以上のフッ素原子を含む。0≦m<1、0<n<1、0≦p<1であり、0<m+n+p≦1である。但し、m、pは同時に0にならない。cは0又は1であり、dは0〜6の整数である。Xはメチレン基、エチレン基、酸素原子、又は硫黄原子である。)

IPC (6)：

C08F220/18 ,  C08F216/02 ,  C08F232/08 ,  C08F234/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (6)：

C08F220/18 ,  C08F216/02 ,  C08F232/08 ,  C08F234/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (82)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB07 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AD02P ,  4J100AD03P ,  4J100AD04P ,  4J100AD07P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL16Q ,  4J100AL21Q ,  4J100AL26Q ,  4J100AR09R ,  4J100AR11R ,  4J100AR31R ,  4J100AR32R ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA05Q ,  4J100BA05R ,  4J100BA06Q ,  4J100BA06R ,  4J100BA11R ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA16R ,  4J100BA20Q ,  4J100BA20R ,  4J100BA29Q ,  4J100BA29R ,  4J100BA30Q ,  4J100BA30R ,  4J100BA31Q ,  4J100BA31R ,  4J100BA51Q ,  4J100BA51R ,  4J100BA55Q ,  4J100BA55R ,  4J100BB07P ,  4J100BB07R ,  4J100BB12R ,  4J100BB18R ,  4J100BC02Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03R ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC07Q ,  4J100BC07R ,  4J100BC08Q ,  4J100BC08R ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC22Q ,  4J100BC22R ,  4J100BC23Q ,  4J100BC23R ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC45Q ,  4J100BC45R ,  4J100BC53Q ,  4J100BC83Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38