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J-GLOBAL ID：200903001011268147
エネルギー分散型X線検出器及びその真空排気方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
菅井 英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991324507
Publication number (International publication number)：1993159733
Application date： Dec. 09, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：
【要約】【目的】 X線検出素子が配置される空間の真空排気を良好に且つ効率よく行う。【構成】 X線検出素子8が使用されない場合には、制御部15はコンプレッサ1を不動作とし、冷凍機の動作を停止する。これによって吸着材5の温度が上昇し、一旦は吸着されたガスが空間Aに放出されるので、空間A内の真空度は低下するが、その後、操作部16からX線検出器の動作が指示されると、制御部15は、排気ポンプ14を動作させると共に、排気弁12を開き、空間A内の排気を行った後、真空ゲージ6の出力信号により空間A内の真空度が所定の真空度に達したことを検知すると、排気弁12を閉じ、排気ポンプ14の動作を停止させると共に、コンプレッサ1の動作を開始させる。これによって吸着材5が冷却されるので、その後は空間Aの内部は所定の真空度に保たれる。
Claim (excerpt)：
X線検出素子と、ヘッドに吸着材が配置されてなる冷凍機と、前記X線検出素子と冷凍機ヘッドとの間に配置された熱伝導棒と、前記X線検出素子と冷凍機ヘッド及び熱伝導棒とを収容する保護容器と、前記保護容器と排気管及び排気弁を介して接続された排気系とを備えることを特徴とするエネルギー分散型X線検出器。
IPC (3)：
H01J 37/244
, G01T 1/24
, H01J 37/18
