Pat

J-GLOBAL ID：200903001011718533

レチクル、露光装置の検査方法及びレチクル製造方法

Inventor： 福原 和也 ,  東木 達彦
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (7)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003344394
Publication number (International publication number)：2005107447
Application date： Oct. 02, 2003
Publication date： Apr. 21, 2005
Summary：

【課題】 露光装置の性能検査を再現性よく行うために、露光装置の照明光学系から照射される光の露光領域を検査用パターンの特定の位置に合わせることが可能なレチクル、そのレチクルを用いた露光装置の検査方法及びレチクル製造方法を提供する。【解決手段】 第1の面11aとその第1の面11aに対向する第2の面11bを有する透明基板10と、第1の面11aに設けられた露光装置2の性能検査をする検査用パターン12aと、第2の面11bに、検査用パターン12aと対向する領域と異なる領域に設けられ、露光装置2の照明光学系20から照射される光の露光領域を検査用パターン12aの特定の位置に合わせるアライメントマーク14a〜14dとを備える。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

第1の面と該第1の面に対向する第2の面を有する透明基板と、 前記第1の面に設けられた露光装置の性能検査をする検査用パターンと、 前記第2の面に、前記検査用パターンと対向する領域と異なる領域に設けられ、前記露光装置の照明光学系から照射される光の露光領域を前記検査用パターンの特定の位置に合わせるアライメントマーク とを備えることを特徴とするレチクル。

IPC (3)：

G03F1/08 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027

FI (4)：

G03F1/08 P ,  G03F1/08 N ,  G03F9/00 H ,  H01L21/30 502P

F-Term (4)：

2H095BE03 ,  2H095BE05 ,  2H095BE08 ,  2H095BE09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 露光装置の検査方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-036690   Applicant：株式会社東芝