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J-GLOBAL ID：200903001015145333

基板処理装置

Inventor： 稲田 哲明
Applicant, Patent owner： 株式会社日立国際電気
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004003596
Publication number (International publication number)：2005197543
Application date： Jan. 09, 2004
Publication date： Jul. 21, 2005
Summary：

【課題】基板の搬送過程での位置ずれを無くし、スル-プットの高い基板処理装置を提供する。【解決手段】基板200を処理する処理炉202、137、139と、これらに連接される第一の搬送室103と、第一搬送室103に連設される予備室122、123と、予備室122、123内に設けられ複数の基板200を保持する基板置き台140,141と、基板200をキャリア100と基板置き台140、141との間で搬送する基板搬送手段124とで構成し、基板搬送手段124は、複数の基板200を一括して搬送できるようにした。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板を収容し処理する処理炉と、 前記処理炉に連設される第1の搬送室と、 前記第1の搬送室に連設される予備室と、 前記予備室内に設けられ、複数の基板を保持する基板置き台と、 基板をキャリアと前記置き台との間で搬送する基板搬送手段と を有する基板処理装置であって 前記基板搬送手段は複数の基板を一括して搬送できるように構成されていること を特徴とする基板処理装置。

IPC (2)：

H01L21/68 ,  H01L21/02

FI (3)：

H01L21/68 A ,  H01L21/68 D ,  H01L21/02 Z

F-Term (22)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031MA04 ,  5F031MA09 ,  5F031MA13 ,  5F031MA29 ,  5F031NA02 ,  5F031NA07 ,  5F031PA02