ガリウムイオン源

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999002082
Publication number (International publication number)：2000200558
Application date： Jan. 07, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】フラッシング時のフィラメント電流または電圧、あるいは通電時間をガリウム残量に依って変化させる必要のないガリウムイオン源を提供する。【解決手段】針状電極とガリウムを貯蔵する貯蔵部とそれを加熱するヒータとからなるガリウムイオン源において、該針状電極、貯蔵部およびガリウムの熱容量の合計が0.015J/K以上0.1J/K以下であることを特徴とするガリウムイオン源であり、より具体的には、貯蔵部が金属製のワイヤを2重以上のコイル状に巻いた構造であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

針状電極と、ガリウムを貯蔵している貯蔵部と、針状電極と貯蔵部とを加熱するヒータとからなるガリウムイオン源において、前記針状電極、貯蔵部およびガリウムの熱容量の合計が0.015J/K以上0.1J/K以下であることを特徴とするガリウムイオン源。

IPC (2)：

H01J 27/26 , H01J 37/08

FI (2)：

H01J 27/26 , H01J 37/08

F-Term (2)：

5C030DF06 , 5C030DF07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭61-029041
液体金属イオン源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-241572 Applicant：株式会社日立製作所
特開昭58-040744

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