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J-GLOBAL ID：200903001024294970

半導体検査装置

Inventor： 古賀 泉 ,  小浦 勇
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999264005
Publication number (International publication number)：2001091570
Application date： Sep. 17, 1999
Publication date： Apr. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】DUTの温度が期待値となるように制御することができる半導体検査装置を提供する。【解決手段】外部からの制御信号パターンに応じて自己発熱する発熱手段を備えたDUTと、このDUTの温度を直接監視するセンサと、このセンサの出力に基づき、前記DUTの温度が期待値に一致するような前記制御信号パターンを発生する手段を備え、DUTの温度が制御できるように構成する。

Claim 1：

外部からの制御信号パターンに応じて自己発熱する発熱手段を備えたDUTと、このDUTの温度を直接監視するセンサと、このセンサの出力に基づき、前記DUTの温度が期待値に一致するような前記制御信号パターンを発生する手段を備え、DUTの温度が制御できるように構成したことを特徴とする半導体検査装置。

F-Term (7)：

2G003AA07 ,  2G003AB16 ,  2G003AC01 ,  2G003AD03 ,  2G003AD06 ,  2G003AH01 ,  2G003AH05