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J-GLOBAL ID：200903001024664980

冷陰極画像表示装置

Inventor： 大野 克弘 ,  深田 哲生
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991222771
Publication number (International publication number)：1993062620
Application date： Sep. 03, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体結晶でマトリクス状に陰極群が形成され、対向する陽極とで画素群が形成された冷陰極画像表示装置で、加工精度の向上および内部抵抗の低減を図って高特性、高信頼性にすると共に、製造作業を容易にして工数削減し、安価な冷陰極画像表示装置を提供する。【構成】 マトリクス状の各陰極群を、SOIとよばれる絶縁層上の単結晶シリコン基板に異方性エッチングにより形成して絶縁分離し、陽極を共通電極化して、シリコン基板と陽極を形成したガラス基板の位置合わせが不要で簡単に組み立てられる構造とした。

Claim (excerpt)：

絶縁層を中間に挟み、その両面に単結晶シリコンを持つ、いわゆる誘電体分離形シリコン基板の片側のシリコン層に異方性エッチングにより形成された針状陰極のマトリクスを有する冷陰極画像表示装置。

IPC (4)：

H01J 31/12 ,  H01J 1/30 ,  H01J 29/46 ,  H01J 63/06