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J-GLOBAL ID:200903001042220924

半導体レーザアレイ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992245297
Publication number (International publication number):1994097578
Application date: Sep. 14, 1992
Publication date: Apr. 08, 1994
Summary:
【要約】【目的】 1回のリソグラフィ・プロセスで複数のレーザの発振波長を決定することができ、かつ高集積化した場合にも光ファイバとの結合が容易な多波長の半導体レーザアレイを提供すること。【構成】 面発光型の多波長半導体レーザアレイにおいて、半導体基板4上に分布反射膜(DBR)によって挟まれた活性層領域が形成され、これらが基板4に対して垂直に立つ柱状の形状をなす複数個に分割され、基板4に対して垂直方向に出力光を放出する複数の半導体レーザ1からなり、半導体レーザ1の柱状部分の断面積が互いに異なることを特徴とする。
Claim (excerpt):
基板上に上下2つの分布反射膜により挟まれ、それぞれ電気的に独立した半導体発光領域が複数個形成され、少なくとも上部の分布反射膜がそれぞれの発光領域毎に分割され、前記基板表面に対して方線方向に出力光を放出する複数の半導体レーザからなり、前記発光領域の前記基板と平行な面の断面積が前記半導体レーザ毎に異なることを特徴とする半導体レーザアレイ。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平3-225886
  • 特開平3-105991

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