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J-GLOBAL ID：200903001047136913

化学線感応性重合体組成物

Inventor： 富川 真佐夫 ,  浅野 昌也
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992328032
Publication number (International publication number)：1994175364
Application date： Dec. 08, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体と光アミン発生剤とを含むことを特徴とする化学線感応性重合体組成物に関する。【効果】本発明によると、有機溶媒を用いず、アルカリ水溶液などで現像できる新規な感光性ポリイミド組成物を得ることができる。

Claim (excerpt)：

下記一般式[1]で表される構造単位を有するポリマと、光アミン発生剤とを含むことを特徴とする化学線感応性重合体組成物。【化1】(R1 は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は、水素またはアルカリ金属イオンを表す。nは1または2である。)

IPC (4)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-162040
  
• 特開平2-058539
  
• ポジ型フオトレジスト組成物、感光性絶縁膜およびパタ-ン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-217332   Applicant：日東電工株式会社