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J-GLOBAL ID：200903001064971923
半導体基板処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996286520
Publication number (International publication number)：1998135303
Application date： Oct. 29, 1996
Publication date： May. 22, 1998
Summary：
【要約】【課題】 たとえ複数の搬送アームのうちの一本が故障などにより使用できなくなっても搬送装置の動作を停止することなく半導体基板を搬送し所定の処理を施すことができる。【解決手段】 複数アーム搬送シーケンスモード11aの時には、搬送装置6は、第1の搬送アーム7によってローダ1から二枚目の半導体基板Wを受取り、第2の搬送アーム8によって第1の処理部2から処理済みの一枚目の半導体基板Wを受取った後に、第1の搬送アーム7によって二枚目の半導体基板Wを第1の処理部2に渡す。第1及び第2の搬送アーム7、8の一方が故障した場合に単アーム搬送シーケンスモード11bが使用される。このモードにおいては、正常な方の搬送アームが第1の処理部2から処理済みの半導体基板Wを受取り、第2の処理部3に搬送し、その後に正常な方の搬送アームによってロード1から半導体基板Wを取出して第1の処理部2に渡す。
Claim (excerpt)：
半導体基板を収容する第1のステーションと、半導体基板処理部を構成する第2のステーションと、半導体基板を収容する第3のステーションと、上記半導体基板を夫々保持する少なくとも第1及び第2の搬送アームを有し上記搬送アームで保持した半導体基板を第1乃至第3のステーションの間で搬送する搬送装置とを具備する半導体基板処理装置において、上記搬送装置を制御する第1及び第2の搬送シーケンスモードを有する制御装置と、上記第1及び第2の搬送シーケンスモードを切換える切換装置とを具備し、上記第1の搬送シーケンスモードは、上記第1の搬送アームによって上記第1のステーションから上記半導体基板を受取り、その後に上記第2の搬送アームによって上記第2のステーションから上記半導体基板を受取った後に上記第1の搬送アームに保持された上記半導体基板を上記第2のステーションに渡すと共に、上記第2の搬送アームに保持された上記半導体基板を上記第3のステーションに渡すように、上記搬送装置を制御し、上記第2の搬送シーケンスモードは、上記第1及び第2の搬送アームの一方の搬送アームによって上記第2のステーションから上記半導体基板を受取り、その後にその取出された半導体基板を上記第3のステーションに渡し、その後に上記一方の搬送アームによって上記第1のステーションから上記半導体基板を受取り上記第2のステーションに渡すように、上記搬送装置を制御することを特徴とする半導体基板処理装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 D
