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J-GLOBAL ID:200903001090974450

超音波変換器のアレイ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊東 忠彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002014694
Publication number (International publication number):2002271897
Application date: Jan. 23, 2002
Publication date: Sep. 20, 2002
Summary:
【要約】【課題】本発明は、高い圧電結合係数kの圧電層を有する改善された超音波変換器を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、基板(1)と、膜(2)と、第1の電極(4)と、圧電層(5)と、第2の電極(6)とを夫々有する超音波変換器のアレイに関わり、基板(1)は、膜(2)と一つの側において隣り合う少なくとも一つの開口部(3)を有し、圧電層(5)は高い圧電結合係数kを有しテクスチャされている。本発明は、超音波変換器、及び、超音波変換器のアレイを製造する方法に更に関わる。
Claim (excerpt):
基板と、膜と、第1の電極と、圧電層と、第2の電極とを夫々有し、上記基板が、上記膜と一つの側において隣り合う少なくとも一つの開口部を有する超音波変換器のアレイであって、上記圧電層がテクスチャ構造の層である超音波変換器のアレイ。
IPC (4):
H04R 17/00 330 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187
FI (6):
H04R 17/00 330 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/18 101 J
F-Term (6):
5D019AA27 ,  5D019BB02 ,  5D019BB09 ,  5D019BB12 ,  5D019FF04 ,  5D019HH01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
  • 圧電体素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平11-043089   Applicant:三菱電機株式会社
  • 特開平3-274899
Cited by examiner (4)
  • 圧電体素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平11-043089   Applicant:三菱電機株式会社
  • 特開平3-274899
  • 特開平3-274899
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