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J-GLOBAL ID：200903001105877619

支持部材の製造方法、および画像形成装置

Inventor： 羽山 彰 ,  清水 康志 ,  伏見 正弘
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002083501
Publication number (International publication number)：2003282000
Application date： Mar. 25, 2002
Publication date： Oct. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】 平面型画像形成装置の内部の耐大気圧支持部材としてのスペーサの表面の凹凸に均質な高抵抗膜を形成する。【解決手段】 表面に凹凸が形成されたスペーサ1020を形成する。凹凸を有するスペーサ1020を形成した後、固定治具1030に固定する。そして、スパッタリング法を用いて、スペーサ1020に導電性膜を矢印S方向から成膜する。矢印S方向は、スペーサ基準面1021の法線方向Nから、スペーサ1020の長手方向に所望の角度偏向した方向である。固定冶具1030には駆動機構が備え付けられおり、固定治具1030を移動しながらスペーサ1020に成膜を実施することにより、スペーサ全体に均一に膜を形成できる。

Claim (excerpt)：

複数の電子放出素子が設けられた第1基板と、前記第1基板に対向して配置され、前記電子放出素子から放出された電子を制御する電極が設けられた第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置され、前記第1基板と前記第2基板とを支持する支持部材と、を備えた電子線装置において前記支持部材の少なくとも一つの表面が前記第2基板との当接面に略並行な方向に延在する凸部または凹部を有する板状基板であって、前記支持部材の凸部または凹部を有した表面に高抵抗膜を成膜する工程において、前記凸部または凹部を有する表面の平均面を基準面とし、成膜源から前記支持部材の基準面の成膜領域を結ぶ直線上の成膜材料の進行方向を成膜方向としたとき、前記成膜方向を偏向する手段を用いる、ことを特徴とする支持部材の製造方法。

IPC (3)：

H01J 9/20 ,  H01J 29/87 ,  H01J 31/12

FI (3)：

H01J 9/20 A ,  H01J 29/87 ,  H01J 31/12 C

F-Term (9)：

5C028AA01 ,  5C028AA07 ,  5C028AA10 ,  5C032CC10 ,  5C032CD06 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EG02 ,  5C036EG50