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J-GLOBAL ID:200903001107124146
レーザ光による超音波検出方法及びその装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
河野 登夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997237535
Publication number (International publication number):1999083812
Application date: Sep. 02, 1997
Publication date: Mar. 26, 1999
Summary:
【要約】【課題】 超音波の検出精度を低下させることなく、装置コスト及びランニングコストを抑制し得、高感度に超音波を検出することができるレーザ光による超音波検出方法、及びその実施に使用する装置を提供する。【解決手段】 被検査材Sからの反射光及び/又は散乱光はレンズ2によって集光され、光ファイバ3に導入される。光ファイバ3に導入された光は、該光ファイバ3によって、レーザ媒質と同じ媒質を有する光増幅器4へ導かれ、光増幅器4は入射光と同じ周波数で、振幅が大きい光を復調器5のファブリペロー干渉計6へ出射する。ファブリペロー干渉計6は、所定周波数の光を透過し、透過光を光検出器7に照射する。そして、光検出器7は照射された光をその強度に応じた振幅の電気信号に変換し、それを出力する。
Claim (excerpt):
被検査材を伝播する超音波で前記被検査材が振動する部分へレーザ光を照射し、その反射光及び/又は散乱光に含まれる所定周波数成分の光を光電変換することによって前記超音波を検出する方法において、前記レーザ光を前記部分へ連続的に照射し、その反射光及び/又は散乱光の強度を増幅することを特徴とするレーザ光による超音波検出方法。
IPC (2):
G01N 29/00 501
, G01H 9/00
FI (2):
G01N 29/00 501
, G01H 9/00 C
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