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J-GLOBAL ID：200903001131563720

コロナ放電用電極及び表面処理装置

Inventor： 村松 憲一 ,  高岡 秀嗣 ,  神戸 和之 ,  大家 智憲
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001190161
Publication number (International publication number)：2003007499
Application date： Jun. 22, 2001
Publication date： Jan. 10, 2003
Summary：

【要約】【課題】 電極と誘電体部材との間に隙間が生じにくく、放電処理時に誘電体部材の一部が飛散しにくいコロナ放電用電極及びそれを用いた表面処理装置を提供する。【解決手段】 このコロナ放電用電極11は、基板16の処理対象面をコロナ放電によって表面処理する表面処理装置1に用いられるものであって、棒状の金属電極11aと、硬質の材料によって形成されており、金属電極11aの長手方向の外周に沿って金属電極11aを被覆する第1の誘電体部材11bと、柔軟性を有する材料を用いて形成されており、金属電極11aと第1の誘電体部材11bとの間の隙間に充填されていて、金属電極11aと第1の誘電体部材11bとの双方に密着している第2の誘電体部材11cとを備えて構成される。

Claim (excerpt)：

基板の処理対象面をコロナ放電によって表面処理する表面処理装置に用いられるコロナ放電用電極であって、棒状の金属電極と、硬質の材料によって構成されており、前記金属電極の長手方向の外周に沿って前記金属電極を被覆する第1の誘電体部材と、柔軟性を有する材料を用いて形成されており、前記金属電極と前記第1の誘電体部材との間の隙間に充填されていて、前記金属電極と前記第1の誘電体部材との双方に密着している第2の誘電体部材とを備えて構成されるコロナ放電用電極。

IPC (7)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H05H 1/46 ,  H05K 3/42 610 ,  H05K 3/46

FI (8)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 G ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H05H 1/46 A ,  H05K 3/42 610 A ,  H05K 3/46 N ,  H05K 3/46 Y

F-Term (36)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  2H090HC18 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  4G075AA30 ,  4G075BC10 ,  4G075CA18 ,  4G075CA25 ,  4G075DA02 ,  4G075EB24 ,  4G075EC06 ,  4G075EC21 ,  4G075ED09 ,  4G075ED11 ,  4G075FA12 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FB12 ,  4G075FB13 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15 ,  5E317AA24 ,  5E317BB01 ,  5E317BB11 ,  5E317CD01 ,  5E317CD27 ,  5E317GG16 ,  5E346AA43 ,  5E346FF03 ,  5E346GG16 ,  5E346HH31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ゴムロール
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-061434   Applicant：コニカ株式会社
• 堆積膜形成装置及び堆積膜形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-072173   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開昭63-247779
  
• 特開昭64-024835