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J-GLOBAL ID：200903001141606451

走査型近視野顕微鏡

Inventor： 大沢 日佐雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991053810
Publication number (International publication number)：1993173076
Application date： Feb. 26, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：

【要約】[目的] 試料表面のエバネセント光を色中心を備えたピックアップで別波長の光に変換することで、横方向分解能および信号対雑音比を向上させる。[構成] 検査される試料に光を照射するための光照射手段と前記試料に対し相対的に走査可能でありかつ前記試料からのエバネセント光を検出するピックアップ手段とを有する走査型近視野顕微鏡において、該ピックアップ手段として前記試料からのエバネセント光により励起されて別波長の光を放出するための色中心を有するものを使用し、該色中心によって放出された別波長の光を光学フィルタを介して光検出手段により検出する。前記色中心の大きさは試料に照射される光の波長に比較して小さくされ、また、前記色中心としては例えば格子欠陥、色素分子等が使用される。

Claim (excerpt)：

検査される試料に光を照射するための光照射手段と、前記試料に対し相対的に走査可能でありかつ前記試料からのエバネセント光により励起されて別波長の光を放出するための色中心を有するピックアップ手段と、前記色中心によって放出された別波長の光を検出するための光検出手段とを具備することを特徴とする走査型近視野顕微鏡。