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J-GLOBAL ID：200903001143815180

位置検出装置

Inventor： 小松 宏一郎 ,  長山 匡
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993306267
Publication number (International publication number)：1995161611
Application date： Dec. 07, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】 複数波長の光を用いて且つ単一の受光系を用いて位置検出を行う際に、複数波長の光の各干渉ビート信号の位相を揃える。【構成】 He-Neレーザ光源1からのレーザビーム、及び半導体レーザ素子2からのレーザビームより、AOM8及び9を介して2対の光束L1(+1,-1) 、H1(+1,-1) 及びL2(-1,+1) 、H2(-1,+1) を生成し、これら2対の光束を平行平板ガラス14、リレーレンズ15及び対物レンズ17を介してウエハマークWM上に交差するように照射する。ウエハマークWMからの2対の回折光を対物レンズ17、ビームスプリッタ16を介して光電検出器19で受光する。平行平板ガラス14の回転角を調整して、2個の干渉ビート信号の位相を揃える。

Claim (excerpt)：

可干渉性を有する複数の光束を被検物上に形成された回折格子状マーク上に照射し、該複数の光束の照射により前記回折格子状マークから発生する複数の回折光の干渉光の光電変換信号に基づいて、前記被検物の位置検出を行う位置検出装置において、互いに異なる複数の波長の光束を発生する光源と、前記光源から射出された互いに波長の異なる複数の光束をそれぞれ1対の光束に分割し、これにより得られた複数対の光束を前記被検物上に形成された回折格子状マーク上に照射する送光光学系と、前記複数対の光束の照射により前記回折格子状マークから発生する複数対の回折光の干渉光を生成する受光光学系と、前記複数対の回折光の干渉光を一括して光電変換する光電変換手段と、前記送光光学系内に配置され、前記互いに波長の異なる複数対の光束の色収差を補正する色収差補正手段と、を有し、前記色収差補正手段により、前記光電変換手段で受光される前記複数対の回折光のそれぞれの干渉光の位相を所定の状態に揃えることを特徴とする位置検出装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/53 ,  G03F 9/00

FI (2)：

H01L 21/30 506 E ,  H01L 21/30 522 D