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J-GLOBAL ID：200903001154375491

ウェハアライメント装置およびそのウェハアライメントの補正方法

Inventor： 関野 士郎 ,  坂本 正一 ,  岩本 猛
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001145081
Publication number (International publication number)：2002343699
Application date： May. 15, 2001
Publication date： Nov. 29, 2002
Summary：

【要約】【課題】 層間膜のカバレッジの非対称性に起因するウェハアライメントのずれを補正するためのウェハアライメント装置を提供する。【解決手段】 ウェハアライメント装置は、アライメントマーク32の画像5を撮影するためのCCDカメラ2、あるいは、アライメントマーク32にレーザ光を照射するレーザ光源3およびアライメントマーク32によって反射回折したレーザ光6を検出する回折光ディテクタ4を有する検出部1と、CCDカメラ2によって撮影された画像の信号またはディテクタ4によって検出されたレーザ光の信号を解析してアライメントの補正量を求めるための信号解析部7と、その信号解析部7に基づいてウェハ31を載置するステージの移動を制御するためのステージ制御部8を有している。

Claim (excerpt)：

ウェハ上に形成されたアライメントマークに照射されて回折した所定の光に基づく信号、または、アライメントマークの画像に基づく信号により、ウェハのアライメントを行うためのウェハアライメント装置であって、ウェハを載置するためのステージ部と、前記所定の光または前記画像を検出するための検出部と、前記検出部によって少なくとも検出された、前記アライメントマークを覆う上層膜のカバレッジの非対称性に起因する信号の波形に基づいて、アライメントを補正するための情報を求める信号解析部と、前記信号解析部によって求められた情報に基づいて、前記ステージ部の動きを制御するステージ制御部とを備えた、ウェハアライメント装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (4)：

G01B 11/00 G ,  G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W

F-Term (20)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ30 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065TT01 ,  2F065UU05 ,  5F046EB01 ,  5F046FA10 ,  5F046FC04 ,  5F046FC05