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J-GLOBAL ID:200903001156818544
露光ヘッド
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
中島 淳 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000216093
Publication number (International publication number):2001091877
Application date: Jul. 17, 2000
Publication date: Apr. 06, 2001
Summary:
【要約】【課題】 複数の光ビームを用いて形成される画像に濃度ムラ等の画像の品質低下を抑制できる露光ヘッドを得る。【解決手段】 複数のLED素子361〜3631を備えたLEDチップ36の出射側に、LED素子の個数と一致する個数のマイクロレンズ1001〜10031が一定間隔を隔ててアレイ状に配列されたマイクロレンズアレイ100が設けられている。マイクロレンズアレイ100は、LEDチップ36から出射される光ビームについて拡がりの制限等をする照明系のレンズであり、光ビームを露光ドラム14上に結像させるときの理論的な物体平面102に、均質な形状かつ均質なプロファイルの光ビームを照明する。このようにLED素子361〜3631から出射された光ビームが独立して機能するマイクロレンズ1001〜10031により、照射領域1021〜10231に均質な形状及び光量分布で照射される。
Claim (excerpt):
画像を露光する露光装置における光源からの光ビームを投影レンズにより投影する露光ヘッドにおいて、複数の発光素子が並べられた光源と、前記複数の発光素子の数に対応するレンズを有するレンズアレイと、を備えたことを特徴とする露光ヘッド。
IPC (8):
G02B 26/10
, B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
, G02B 3/00
, G03B 27/32
, H04N 1/036
, H04N 1/04
FI (8):
G02B 26/10 D
, G02B 26/10 B
, G02B 26/10 G
, G02B 3/00 A
, G03B 27/32 H
, H04N 1/036 A
, B41J 3/21 L
, H04N 1/04 B
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