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J-GLOBAL ID：200903001175086155

水晶振動子湿度センサ

Inventor： 藤澤 直広 ,  伊丹 正登
Applicant, Patent owner： エヌオーケー株式会社
Agent (1)： 吉田 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994079353
Publication number (International publication number)：1995260661
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 感湿膜の吸湿による重量変化を振動子の共振周波数変化として検出する、水晶振動子の振動面に感湿膜を形成させた湿度センサであって、高温ならびに高温高湿安定性にすぐれたものを提供する。【構成】 水晶振動子表面にポリエーテルスルホン感湿膜を形成させた水晶振動子湿度センサ。ポリエーテルスルホン感湿膜は、コーティング法によって形成される。

Claim (excerpt)：

水晶振動子表面にポリエーテルスルホン感湿膜を形成せしめてなる水晶振動子湿度センサ。