Pat

J-GLOBAL ID：200903001175376633

リン化ガリウム単結晶製造方法

Inventor： 辰宮 一樹
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Agent (1)： 鴨田 朝雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001386658
Publication number (International publication number)：2003192498
Application date： Dec. 19, 2001
Publication date： Jul. 09, 2003
Summary：

【要約】【課題】 酸化ホウ素(B2O3)を用いた液体封止引き上げ法(LEC法)で育成される直径が63.5mm(2.5インチ)以上のリン化ガリウム単結晶製造方法において、ウェーハのボイドの発生を抑制したリン化ガリウム単結晶製造方法を提供する。【解決手段】 酸化ホウ素(B2O3)を用いた液体封止引き上げ法(LEC法)で、直径が63.5mm(2.5インチ)以上のリン化ガリウム単結晶を育成する製造方法において、結晶直径d/ルツボ内径Dbを0.7以下とする。

Claim (excerpt)：

酸化ホウ素(B2O3)を用いた液体封止引き上げ法(LEC法)で、直径が63.5mm(2.5インチ)以上のリン化ガリウム単結晶を育成する製造方法において、結晶直径/ルツボ内径を0.7以下とすることを特徴とするリン化ガリウム単結晶製造方法。

IPC (4)：

C30B 29/44 ,  C01B 25/08 ,  C30B 15/10 ,  C30B 27/02

FI (4)：

C30B 29/44 ,  C01B 25/08 A ,  C30B 15/10 ,  C30B 27/02

F-Term (6)：

4G077AA02 ,  4G077BE43 ,  4G077CF10 ,  4G077EG01 ,  4G077EJ07 ,  4G077PD02