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J-GLOBAL ID：200903001177493521

半導体試験装置用比較電圧源

Inventor： 関 純一
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997036533
Publication number (International publication number)：1998232268
Application date： Feb. 20, 1997
Publication date： Sep. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 コンパレータ6iや基準コンパレータ14に与える比較電圧のオフセット電圧値をより精度よく、ドライバ5iにもより正確な電圧を供給する、使用しやすい半導体装置用比較電圧源を提供する。【解決手段】 各ドライバ5iの出力波形のタイミングをキャリブレーションする基準コンパレータ14の基準電圧を供給する専用の基準コンパレータ用可変電圧発生器60と、各コンパレータ6iの比較電圧VOH及びVOLとを供給する専用の複数の可変電圧発生器20i、30iと、各ドライバ5iの出力電圧となるVIH及びVILの電圧を供給する専用の複数の可変電圧発生器40i、50iとから成る構成とする。

Claim (excerpt)：

DUT(9)の入力端子にドライバ(5i)から任意の電圧(VIH、VIL)による試験パターン信号を与え、DUT(9)の出力端子からの応答信号をコンパレータ(6i)で任意の電圧(VOH、VOL)と電圧比較し、上記コンパレータ(6i)の出力信号と期待値信号とで論理比較してDUT(9)の良否を判定する半導体試験装置に用いられる可変電圧源(11)において、各ドライバ(5i)の出力試験パターン信号のタイミングをキャリブレーションするために設けられた基準コンパレータ(14)の一端に基準電圧を供与する専用のSTDCP用可変電圧発生器(60)と、コンパレータの高比較電圧として、各コンパレータ(6i)に任意の高比較電圧(VOH)をそれぞれ供与する複数のVOH用可変電圧発生器(20i)と、コンパレータの低比較電圧として、各コンパレータ(6i)に任意の低比較電圧(VOL)をそれぞれ供与する複数のVOL用可変電圧発生器(30i)と、ドライバの高出力電圧値を定める電圧として、任意の高電圧(VIH)を各ドライバ(5i)にそれぞれ供与する複数のVIH用可変電圧発生器(40i)と、ドライバの低出力電圧値を定める電圧として、任意の低電圧(VIL)を各ドライバ(5i)にそれぞれ供与する複数のVIL用可変電圧発生器(50i)と、を具備することを特徴とする半導体試験装置用比較電圧源。

IPC (3)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/3183 ,  G05F 1/10

FI (4)：

G01R 31/28 M ,  G05F 1/10 A ,  G01R 31/28 Q ,  G01R 31/28 D