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J-GLOBAL ID:200903001177764916

ガスレートセンサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991165809
Publication number (International publication number):1993010963
Application date: Jul. 05, 1991
Publication date: Jan. 19, 1993
Summary:
【要約】【目的】 本発明は、ガスレートセンサに関し、特に、複数のリング板形状の電極ホルダの面電極間にセンサを張設することにより、複数の軸方向における検出を行うと共に、従来よりも長いセンサを用いて感度を向上させ、同時にコストダウンを達成することを特徴とする。【構成】 本発明によるガスレートセンサは、ケーシング(1)内に設けられた気体ポンプ(33)と、前記気体ポンプ(33)からの気体流(33a)を電極ホルダ(5,5E)に設けられた少なくとも一対のセンサ(7a,7b)に供給し、前記各センサ(7a,7b)からの信号の差により角速度入力を検出するようにしたガスレートセンサにおいて、前記電極ホルダ(5,5E)に形成された複数の面電極(6a〜6d)間に前記センサ(7a,7b)を張設すると共に、前記電極ホルダ(5,5E)を複数個重合させて用いるようにした構成である。
Claim 1:
ケーシング(1)内に設けられた気体ポンプ(33)と、前記気体ポンプ(33)からの気体流(33a)を電極ホルダ(5,5E)に設けられた少なくとも一対のセンサ(7a,7b)に供給し、前記各センサ(7a,7b)からの信号の差により角速度入力を検出するようにしたガスレートセンサにおいて、前記電極ホルダ(5,5E)に形成された複数の面電極(6a〜6d)間に前記センサ(7a,7b)を張設すると共に、前記電極ホルダ(5,5E)を複数個重合させて用いるように構成したことを特徴とするガスレートセンサ。
IPC (2):
G01P 9/00 ,  G01C 19/00

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