Pat
J-GLOBAL ID：200903001213939868
超音波モータドライバ及び超音波モータコントローラ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：
石田 敬
, 鶴田 準一
, 妻鹿 恒雄
, 西山 雅也
, 樋口 外治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003004695
Publication number (International publication number)：2004222372
Application date： Jan. 10, 2003
Publication date： Aug. 05, 2004
Summary：
【課題】超音波モータを間欠的に駆動することによりステージの変位を精密に制御する。【解決手段】超音波モータ13により駆動されるステージ14の変位目標値と実変位の差である変位偏差に基づいて波数決定部11jで波数が決定される。速度目標値又は速度目標値と実速度の差である速度偏差に応じて決定されるインターバルを超音波モータに印加する駆動波の少なくとも1周期毎に挿入して発生パターン決定部11kで駆動パターンを生成し、この駆動パターンに基づいて所定インターバル毎に所定周波数の超音波モータの駆動波を波数決定部で決定された波数だけ駆動波形生成部12で発生して超音波モータに供給する。【選択図】 図1
Claim 1：
超音波モータにより駆動される可動体を駆動するパルスを受信するパルス受信部と、
前記パルス受信部で受信されたパルスの波数を予め設定された倍率倍する乗算部と、
前記乗算部で倍率倍されたパルスに基づいて、所定周波数の超音波モータ駆動波を発生する駆動波発生部を具備する超音波モータドライバ。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (4)：
5H680BC10
, 5H680FF25
, 5H680FF29
, 5H680FF38
