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J-GLOBAL ID：200903001218971239

低屈折率膜、低反射膜、低反射導電膜及び低反射防眩導電膜

Inventor： 阿部 啓介 ,  久保田 恵子 ,  真田 恭宏 ,  平塚 和也 ,  森本 剛
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992190093
Publication number (International publication number)：1994011602
Application date： Jun. 24, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【構成】Sn、Sb、In、Ru等の酸化物からなる導電膜上に、Fを含む珪素化合物を含む液を塗布し、低反射導電膜を形成する。その上に同様の液をスプレーコートして低反射防眩導電膜を形成する。【効果】真空を要する大がかりな設備を必要とせず、優れた膜を形成できる。

Claim (excerpt)：

Fを含有する珪素化合物を含む塗布液を基体上に塗布した後、加熱かつ/または紫外線照射により形成された低屈折率膜。