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J-GLOBAL ID：200903001221339357

バリアハイト測定装置

Inventor： 八木 明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992030835
Publication number (International publication number)：1993223520
Application date： Feb. 18, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：

【要約】【目的】試料の凹凸像と局所的な仕事関数を同時に測定できるバリアハイト測定装置を提供する。【構成】試料26の近くに配置される探針14を自由端に備えるカンチレバー12を支持している圧電アクチュエーター16は、発振器18からの交流電圧を受けて試料表面に垂直な方向に振動させる。変位検出器24は、カンチレバー12の変位を光学的に検出し、その変位信号をロックインアンプ20とサーボ回路36に供給する。サーボ回路36は、変位信号に基づいてカンチレバー12の振動の中心の試料表面に対する位置を検出し、これを一定に保つように探針試料間距離をxyzアクチュエーター28を用いて制御する。また、バイアス電源30は試料26に電圧を供給し、これにより流れるトンネル電流をトンネル電流検出回路34が検出する。演算装置38はバリアハイトφの平方根を算出し出力する。

Claim (excerpt)：

試料の表面の近くに配置される導電性の探針と、探針を自由端に有し、探針と試料の間に力が作用した際に変位するカンチレバーと、試料表面に垂直な方向に探針を振動させる手段と、カンチレバーの変位を検出する変位検出手段と、試料表面に対するカンチレバーの振動の中心の位置を一定に保つサーボ手段と、試料と探針の間にバイアス電圧を印加する電圧印加手段と、探針と試料の間に流れるトンネル電流を検出する電流検出手段と、カンチレバーの変位とトンネル電流とからバリアハイトを演算する演算手段と、バイアス電圧を変化させた際にトンネル電流が流れなくなる電圧を記録する電圧記録手段とを備えているバリアハイト測定装置。

IPC (2)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28