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J-GLOBAL ID：200903001229590369

脱気装置、脱気方法及び液体供給装置

Inventor： 豊島 範夫 ,  盛満 麻紀
Applicant, Patent owner： 芝浦メカトロニクス株式会社
Agent (6)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003208020
Publication number (International publication number)：2005058842
Application date： Aug. 20, 2003
Publication date： Mar. 10, 2005
Summary：

【課題】この発明は、液体に含まれた気泡を分離除去する脱気装置を提供することにある。【解決手段】液体に含まれた気体を除去する脱気装置において、容器72と、この容器の上部から内部に上記液体を供給する供給分岐管22aと、上記容器の底部に設けられ容器内に供給された液体を流出させる供給分岐管22aと、上記容器内に設けられ上記供給部から供給されて上記供給分岐管22aから流出する液体に含まれる気泡を付着させて分離する気体分離部材73と、この気体分離部材に付着して上記容器内を上昇する気泡をこの容器から排出させる排気管74とを具備する。【選択図】 図5

Claim 1：

液体に含まれた気体を除去する脱気装置において、 容器と、 この容器の上部から内部に上記液体を供給する供給部と、 上記容器の底部に設けられ容器内に供給された液体を流出させる流出部と、 上記容器内に設けられ上記供給部から供給されて上記流出部から流出する液体に含まれる気泡を付着させて分離する気体分離部材と、 この気体分離部材に付着して上記容器内を上昇する気泡をこの容器から排出させる排気部と、 を具備したことを特徴とする脱気装置。

IPC (3)：

B01D19/00 ,  B01J4/00 ,  H01L21/027

FI (4)：

B01D19/00 B ,  B01D19/00 G ,  B01J4/00 103 ,  H01L21/30 564Z

F-Term (11)：

4D011AA01 ,  4D011AA08 ,  4D011AD02 ,  4G068AA01 ,  4G068AB11 ,  4G068AC05 ,  4G068AD40 ,  5F046JA02 ,  5F046JA03 ,  5F046JA22 ,  5F046JA27

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-056201
  
• レジスト液の気泡除去装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-239249   Applicant：株式会社メカ・エンジ
• 特開平2-056201