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J-GLOBAL ID：200903001229808291

耐腐食性インピーダンス型センサー及びその製造方法

Inventor： 肥塚 裕至 ,  ウエイ フアン スー
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991202929
Publication number (International publication number)：1993045320
Application date： Aug. 13, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明の目的は、耐腐食性に優れ、パターン形成が可能であり、かつ高い導電性を有する可溶性導電性高分子化合物を抵抗の変化を検出するインピーダンス型センサーの電極に適用することにより、耐腐食性に優れたインピーダンス型センサーを提供することにある。【構成】 本発明に係る耐腐食性インピーダンス型センサーは、電極部1が可溶性導電性高分子化合物よりなることを特徴とし、可溶性導電性高分子化合物フイルム上に、ポジまたはネガ型レジストを積層し、可視光または放射線を使用するパターン形成法により電極部を製造することを特徴とする等の方法により製造方法することができる。

Claim (excerpt)：

環境の変化をインピーダンスの変化で検知するインピーダンス型センサーにおいて、電極部が可溶性導電性高分子化合物よりなることを特徴とする耐腐食性インピーダンス型センサー。

IPC (2)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/04