平面コイル素子及びそれを用いた光スキャナ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000077129
Publication number (International publication number)：2001264678
Application date： Mar. 17, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】比較的少ない工程数で作製され得る複層の平面周回コイルを備える平面コイル素子や光スキャナを提供する。【解決手段】光スキャナは、絶縁性の弾性膜を共通に含む可動板101と支持体102a,102bとねじりばね103a,103bとを有している。可動板101は互いに直列に接続された三つの駆動コイル104,105,106を備え、これらはそれぞれ弾性膜の第一,第二,第三の層に形成されている。駆動コイル104,106は引き出し線110a,110bを介して給電パッド111a,111bに接続され、給電パッドと引き出し線は駆動コイル106と同じ層に形成されている。引き出し線110aは駆動コイル104,105を横切って延び、駆動コイル106は引き出し線110aを迂回して延びている。この構造体は半導体製造技術により作製され、同じ層の導電膜は同じ工程で形成される。

Claim (excerpt)：

導電性材料の膜が選択的に形成された複数の層を含む絶縁膜を有しており、複数の層の各々に形成された複数層の平面周回コイルと、複数の層の所定の層に形成された引き出し線であって、他の層に形成された平面周回コイルを横切って延び、他の層に形成された少なくとも一つの平面周回コイルの内側の端部に電気的に接続される引き出し線とを有しており、所定の層に形成された平面周回コイルは、引き出し線を迂回して延びている、平面コイル素子。

IPC (3)：

G02B 26/10 104 , G02B 26/08 , H01S 5/022

FI (3)：

G02B 26/10 104 Z , G02B 26/08 E , H01S 5/022

F-Term (9)：

2H041AA12 , 2H041AB12 , 2H041AC04 , 2H045AB16 , 2H045AB73 , 2H045BA02 , 5F073AB21 , 5F073BA09 , 5F073FA30

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