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J-GLOBAL ID：200903001238745219

走査型トンネル顕微鏡

Inventor： 日下 貴生 ,  三留 正則 ,  ▲瀧▼本 清 ,  貴志 悦朗 ,  河田 春紀
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993064292
Publication number (International publication number)：1994273110
Application date： Mar. 23, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】 測定対象物の電気的特性や状態変化にかかわらず、試料表面の凹凸像を高分解能で得られる走査型トンネル顕微鏡を提供する。【構成】 発振器2で所定の周波数の交流電圧(変調電圧)を発生し、この交流電圧を試料1と探針3との間に印加する。試料1と探針3との間のトンネル電流値を電圧信号に変換し、乗算器6により、もとの変調電圧との積信号を得る。この積信号をローパスフィルタ7で処理し、積信号のうち変調電圧と同期した成分を求め、トンネル電流の振幅値を抽出する。この振幅値で電極3と試料1との距離を制御するとともに、振幅値を試料1の凹凸を表わすものとして出力する。

Claim (excerpt)：

試料と探針との間のトンネル電流を検出する走査型トンネル顕微鏡において、所定の周期で変化する所定波形の変調電圧を前記試料と前記探針との間に印加する電圧印加手段と、前記トンネル電流のうち前記変調電圧に同期した成分の振幅を求める検出手段と、前記振幅に応じて前記試料と前記探針との間の距離を制御する制御手段とを有することを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28