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J-GLOBAL ID：200903001244502280

露光装置

Inventor： 矢吹 晃 ,  夏堀 勝利
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998017680
Publication number (International publication number)：1999204424
Application date： Jan. 14, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 露光精度を向上させる。【解決手段】 ウエハ面上の露光量を間接的にあるいは直接、モニタするための光検出系に複数段階のゲインを持たせ、光検出器への入射光量に応じてゲインを切り換えることにより、SN比の向上を図る。また、予め、光検出系の実際のゲインを計測し、露光量計測時にはその計測結果を基に各設計ゲイン値を演算により補正し、光検出系のゲイン切り換えによる露光量計測の非連続性を防止する。

Claim 1：

照明光を発生する光源と、被照射体への照射光量を調整する光量調整手段および前記照明光より複数の2次光源を形成する2次光源形成手段の少なくとも一方と、被照射体面上への照射光量を間接的に計測する第1の光量計測手段と、被照射体面上の照射光量を直接計測する第2の光量計測手段と、計測結果の演算を行なう演算手段と、計測および演算結果を記憶する記憶手段と、前記各手段の動作を制御する制御手段とを有する露光装置において、前記第1の光量計測手段は異なる複数のゲインを持つ増幅器を有し、前記制御手段は前記第1の光量計測手段への入射光量に応じて前記第1の光量計測手段のゲインを最適値に切り換えて露光量制御を行なうことを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 516 D ,  G03F 7/20 521