Pat

J-GLOBAL ID：200903001248981948

金属等の光学的表面検査方法および装置

Inventor： 沖野 幸利
Applicant, Patent owner： 東芝ライテック株式会社
Agent (1)： 本田 崇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000400883
Publication number (International publication number)：2002202113
Application date： Dec. 28, 2000
Publication date： Jul. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】 金属等の加工上においてその表面に発生する微細傷等を迅速かつ確実に識別して、高精度の表面検査を行うことができる金属等の光学的表面検査方法および装置を提供する。【解決手段】 圧延もしくは絞り加工された金属等の表面の凹凸状態を検査する光学的表面検査方法において、検査する金属等の表面に明るい部分と暗い部分とを交互に等間隔で配列した縞模様を有する光を照射する照明装置を使用し、前記縞模様の配列方向と圧延もしくは絞り加工する方向とが同じになるように設定する。

Claim (excerpt)：

圧延もしくは絞り加工された金属等の表面の凹凸状態を検査する光学的表面検査方法において、検査する金属等の表面に明るい部分と暗い部分とを交互に等間隔で配列した縞模様を有する光を照射する照明装置を使用し、前記縞模様の配列方向と圧延もしくは絞り加工する方向とが同じになるように設定したことを特徴とする金属等の光学的表面検査方法。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  B21C 51/00 ,  G01N 21/892

FI (3)：

G01B 11/30 Z ,  B21C 51/00 P ,  G01N 21/892 B

F-Term (22)：

2F065AA54 ,  2F065CC00 ,  2F065DD03 ,  2F065FF07 ,  2F065FF42 ,  2F065GG18 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL21 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ41 ,  2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  2G051EB01