Pat

J-GLOBAL ID：200903001294521943

試料液体中不純物計測装置

Inventor： 金子 俊彦 ,  本間 俊二 ,  矢代 哲也 ,  朝日 聖隆 ,  小関 康雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立機械エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992062302
Publication number (International publication number)：1993264435
Application date： Mar. 18, 1992
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 装置構成機器からの不純物溶出を含めて、試料液体中への不純物の混入を防止し、試料液体中の全蒸発残留物を高精度に測定する。【構成】 超純水等が流れている送水管1に試料取出配管2が取付けられている。試料取出配管2は採液タンク3に接続され、その先端部は採液タンク3内に設けられた受け皿3A内に配置されている。また、噴射ノズル4に接続された試料供給配管5の先端部も受け皿3A内に配置されている。そして、噴射ノズル4に接続された試料液体吸引噴霧用気体配管11を介して清浄気体を供給することにより、噴射ノズル4の先端部を受け皿3A内の試料液体の圧力よりも低圧にして、受け皿3A内の試料液体を吸引し、気化器7に向って噴射ノズル4から微細化して噴射する。

Claim (excerpt)：

噴射ノズルから噴射され微細化された試料液体を、清浄気体と混合・接触させて気化させる気化器と、試料液体を採取して前記噴射ノズルに供給する試料供給手段と、前記噴射ノズルに前記清浄気体を供給する気体供給手段と、前記気化器で気化した気体を取り込んで、気体中に含まれる浮遊微粒子の粒径と個数を計測する計測手段と、を備えた試料液体中不純物計測装置において、前記試料供給手段は前記試料液体の採取位置と前記噴射ノズルとの間に設けられた試料供給配管からなり、かつ前記清浄気体が供給されることにより前記噴射ノズル先端部が前記試料液体の採取位置より低圧となる構成にしたことを特徴とする試料液体中不純物計測装置。

IPC (2)：

G01N 15/14 ,  G01N 15/06