欠陥分類方法及びその装置並びに欠陥検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006262083
Publication number (International publication number)：2008082821
Application date： Sep. 27, 2006
Publication date： Apr. 10, 2008
Summary：

【課題】欠陥分類において、ルールベース型の欠陥分類は、全てを手動で設定するのは困難であるという課題があった。【解決手段】欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有し、該分類器構築過程において、さらに予め欠陥クラス毎並びに全体および最悪のピュリティおよびアキュラシーの目標分類性能について優先順位をつけて指定しておく優先順位指定過程と、前記設定した分岐条件による前記指定した目標分類性能を満足するか否かを項目毎に評価して該項目毎の評価結果を表示する評価過程とを含むことを特徴とする。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有することを特徴とする欠陥分類方法。

IPC (1)：

G01N 21/956

FI (1)：

G01N21/956 A

F-Term (12)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051CB05 , 2G051DA07 , 2G051EB01 , 2G051EB09 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051ED21 , 2G051FA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

欠陥検査装置およびその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-056547 Applicant：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
欠陥分類器の生成方法および欠陥自動分類方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-047290 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ

Cited by examiner (7)

欠陥分類器の生成方法および欠陥自動分類方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-047290 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
ハイブリッドで一様に適用可能な自動欠陥分類法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-219833 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
銀行券などのシート材料処理方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平10-522160 Applicant：ギーゼッケウントデフリエントゲーエムベーハー

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