Pat
J-GLOBAL ID：200903001296951520
試料検査装置および方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡辺 勝 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998300085
Publication number (International publication number)：2000124276
Application date： Oct. 21, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：
【要約】【課題】 スルーホールの底部の絶縁層の層厚も簡単に検出できるようにする。【解決手段】 検査試料101の絶縁層に表面から電子ビームを照射し、検査試料101の裏面に貫通した電流を検出測定する。電子ビームを検査試料101の表面に照射するが、この表面で発生するエネルギでなく裏面に貫通する電流量を検出するので、絶縁層が微細な縦穴の底部に位置するような場合でも層厚が検出される。
Claim (excerpt)：
絶縁層を具備している検査試料を所定位置に保持する試料保持手段と、該試料保持手段に保持された前記検査試料と対向する位置に配置されて電子ビームを発生する電子銃と、該電子銃が発生する電子ビームを外部から印加される電圧により加速させて前記検査試料の表面に照射させるアノード電極と、該アノード電極に一定の電圧を印加する定電圧電源と、電子ビームが表面に照射される前記検査試料の裏面に貫通した電流を検出する検出電極と、該検出電極により検出された電流値を測定する電流計と、を具備している試料検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/66 C
, G01R 31/28 L
2G032AA00
, 2G032AB00
, 2G032AD01
, 2G032AF08
, 4M106AA01
, 4M106AA12
, 4M106AA13
, 4M106BA02
, 4M106CA48
, 4M106DH01
, 4M106DH16
, 4M106DH33
, 4M106DH37
, 4M106DH60
, 4M106DJ01
, 4M106DJ23
, 4M106DJ38
