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J-GLOBAL ID：200903001298042292

高効率の発光ダイオードの製造方法及び構造

Inventor： ネグリー,ジェラルド・エイチ
Applicant, Patent owner： クリー・リサーチ,インコーポレイテッド
Agent (1)： 奥山 尚男 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996512632
Publication number (International publication number)：1999505666
Application date： Oct. 02, 1995
Publication date： May. 21, 1999
Summary：

【要約】炭化けい素からその外部効率が増大された発光ダイオードを製造するための方法は、炭化けい素の一部分の一表面に炭化けい素を気化させてカットするのに十分なレーザー光のビームを向けることと、その後において、その炭化けい素の一部分にレーザー光のビームが照射された際に生成された副産物を取り除くためのドライエッチングを行うことを含む。この方法を使って製造されるウエハとダイオードについても詳細に説明される。

Claim (excerpt)：

炭化けい素からその外部効率が増大された発光ダイオードを製造する方法であって、 前記炭化けい素の一部分の一表面に、照射対象の該炭化けい素を気化させてカットするのに十分なレーザー光のビームを向けることと、 前記炭化けい素の一部分を前記レーザー光がカットする際に生成された副産物をとり除くために該炭化けい素の一部分に対してドライエッチングを行うことと、を含むことを特徴とする発光ダイオードの製造方法。

IPC (3)：

H01L 33/00 ,  H01L 21/301 ,  H01L 21/302

FI (3)：

H01L 33/00 A ,  H01L 21/302 Z ,  H01L 21/78 B