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J-GLOBAL ID:200903001322971755

ウェハ端面検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 荒船 良男 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001370315
Publication number (International publication number):2003166945
Application date: Dec. 04, 2001
Publication date: Jun. 13, 2003
Summary:
【要約】【課題】 精度がよく、しかも速度が速いウェハ端面検査装置を提供すること。【解決手段】 ウェハを周方向に回転させる回転手段と、ウェハの周縁の移動域に先端を臨ませて設置した投光用光ファイバーと、ウェハの周縁の移動域に先端を臨ませて設置した受光用光ファイバーと、前記投光用光ファイバーの他端に設置した光源と、前記受光用光ファイバーの他端に接続し、前記受光用光ファイバーからの光量に基づくデータを処理するコントローラとを備えたことを特徴としている。
Claim (excerpt):
ウェハを周方向に回転させる回転手段と、ウェハの周縁の移動域に先端を臨ませて設置した投光用光ファイバーと、ウェハの周縁の移動域に先端を臨ませて設置した受光用光ファイバーと、前記投光用光ファイバーの他端に設置した光源と、前記受光用光ファイバーの他端に接続し、前記受光用光ファイバーからの光量に基づくデータを処理するコントローラとを備えたことを特徴とするウェハ端面検査装置。
IPC (4):
G01N 21/956 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66
FI (4):
G01N 21/956 A ,  G01B 11/00 C ,  G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 J
F-Term (55):
2F065AA12 ,  2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065BB16 ,  2F065BB24 ,  2F065BB26 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD05 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG13 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK01 ,  2F065LL03 ,  2F065LL22 ,  2F065MM04 ,  2F065PP01 ,  2F065PP13 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ04 ,  2F065SS02 ,  2F065SS04 ,  2F065SS06 ,  2F065SS13 ,  2F065TT01 ,  2F065TT02 ,  2F065TT03 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02 ,  2F065UU04 ,  2G051AA51 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051CB01 ,  2G051CC17 ,  2G051DA06 ,  2G051DA13 ,  2G051EB01 ,  2G051ED22 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA50 ,  4M106DH03
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 欠陥検査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-262520   Applicant:株式会社神戸製鋼所, ジェネシス・テクノロジー株式会社
  • 基板検査方法および装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2000-097186   Applicant:国際技術開発株式会社

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