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J-GLOBAL ID：200903001332809310

ポジ型感放射線性組成物

Inventor： 田村 一貴 ,  仁王 宏之 ,  大林 元太郎
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000004306
Publication number (International publication number)：2001194790
Application date： Jan. 13, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】下記一般式(1)で示される構造単位を含む重合体、および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXはフッ素を含有するアルキル基、Aは酸素と結合している炭素が3級であり、芳香環を含有している1価の有機基を表す。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で示される構造単位を含み、ガラス転移点Tgが80°C以上150°C以下である重合体、および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXはフッ素を含有するアルキル基、Aは酸素と結合している炭素が3級であり、芳香環を含有している1価の有機基を表す。)

IPC (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (14)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB08 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ09 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17