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J-GLOBAL ID：200903001346792002

プリント回路基板検査装置、及びプリント回路基板検査方法

Inventor： 服部 悦雄
Applicant, Patent owner： イーマシーン有限会社
Agent (1)： 前田 勘次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001275602
Publication number (International publication number)：2003084025
Application date： Sep. 11, 2001
Publication date： Mar. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】 安価な構成で高精度の検査データを検出することができ、且つ汎用性のあるプリント回路基板検査装置を提供する。【解決手段】 プリント回路基板検査装置1は、インターポーザー基板Aを載置して裏面から高周波の電気信号を印加する電気信号入力回路6と、インターポーザー基板Aの表面に蓄えられる電荷を検出するセンサ15とを備えている。センサ15の下面には誘電体シートが設けてあり、インターポーザー基板Aとセンサ15との距離を一定に保つとともに、電気的に非接触な状態を成している。よって、インターポーザー基板Aの裏面に高周波の電気信号を印加すると、表面には短時間で電荷が蓄えられるため、電荷を測定することによりインターポーザー基板Aの高精度の検査データを検出することができる。

Claim (excerpt)：

検査対象プリント回路基板に平行な平面上に配設された電極群を有する非接触センサを備え、前記検査対象プリント回路基板の一方の面に電気信号が加えられた際に、前記検査対象プリント回路基板の他方の面の電位分布を、前記電極群を介して検出するプリント回路基板検査装置であって、前記電気信号として、高周波の電気信号を出力する高周波信号出力手段と、前記電極群を走査し、前記検査対象プリント回路基板及び前記非接触センサ間に蓄えられる電荷を測定する電荷測定手段とを具備することを特徴とするプリント回路基板検査装置。

IPC (3)：

G01R 31/02 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/302

FI (3)：

G01R 31/02 ,  G01R 1/06 F ,  G01R 31/28 L

F-Term (12)：

2G011AA01 ,  2G011AC09 ,  2G011AE01 ,  2G014AA13 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2G132AA20 ,  2G132AD15 ,  2G132AF11 ,  2G132AK04 ,  2G132AL09 ,  2G132AL11