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J-GLOBAL ID：200903001346950740

静電吸着装置及び静電吸着方法

Inventor： 大倉 英一郎 ,  豊田 正人
Applicant, Patent owner： 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992000660
Publication number (International publication number)：1993183043
Application date： Jan. 07, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 プラズマの放電,無放電にかかわらずウエハを試料台に確実に吸着させることができ、かつウエハの試料台からの離脱を迅速にできる静電吸着装置を得ることを目的とする。【構成】 試料台1には直流電源2から直流電圧が印加される。ウエハ4には接地電極6から常に接地電位が印加される。ウエハ4と試料台1との間に電位差が生じてウエハ4は静電的に試料台1に固定される。そのため、プラズマの放電,無放電にかかわらずウエハを試料台に静電的に固定でき、ウエハに蓄積された残留電荷を除去でき、かつウエハの電位を一定に保つことができる。【効果】 ウエハを試料台に確実に吸着させることができ、かつウエハの試料台からの離脱を迅速にできる。

Claim (excerpt)：

直流電圧が印加されている試料台にウエハを静電的に固定する静電吸着装置において、前記ウエハに所定電圧を印加するための電圧印加手段を設けたことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302