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J-GLOBAL ID:200903001352842712
ピンホール素子および同素子を用いた光学装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
大庭 咲夫
, 加藤 慎治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003098547
Publication number (International publication number):2004309514
Application date: Apr. 01, 2003
Publication date: Nov. 04, 2004
Summary:
【課題】ピンホール素子において、レーザ光の焦点および光軸をピンホールに簡単に一致させることを可能にするとともに、製造コストを低減する。【解決手段】ピンホール素子10は、上面を正方形状に形成した透明基板11を備えている。透明基板11上には、微小な円形の透光部で構成されるピンホール12と、4個の透光部13,14,15,16とを残して、非透光剤を塗布した遮光部17が形成されている。透光部13,14,15,16は、ピンホール12を中心にして周方向に90度ずつ隔てて放射状に配置された、長尺状の長形状の開口である。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
透明基板上に微小な円形の透光部を残して同透光部の周囲に非透光剤を塗布した遮光部を設けることにより透明基板上にピンホールを形成したピンホール素子において、前記遮光部に前記ピンホールを中心にして放射状に複数の長尺状の透光部を設けたことを特徴とするピンホール素子。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (4):
2H042AA06
, 2H042AA14
, 2H042AA21
, 2H052AC16
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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光ヘッド装置のピンホール板及びメインビーム検出器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-200725
Applicant:日本電気株式会社
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光学式眼底走査装置及び方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平7-516873
Applicant:イーディーアイオブルイジアナインコーポレイテッド
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位置ずれ量測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-069228
Applicant:日立電子エンジニアリング株式会社
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共焦点装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-009991
Applicant:横河電機株式会社
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位置検出装置及びそれを用いた露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-279431
Applicant:キヤノン株式会社
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光モジュール光軸調整装置及び方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-191733
Applicant:日本電気株式会社
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特開平4-350923
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ピンホール素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-211052
Applicant:株式会社ニコン
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