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J-GLOBAL ID：200903001355892184

圧電素子ユニット及びその製造方法並びにその圧電素子ユニットを用いたインクジェット記録ヘッド

Inventor： 内田 真治 ,  深沢 直人
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995178338
Publication number (International publication number)：1996306980
Application date： Jul. 14, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】小型・低コストで、圧電体の電気機械変換を効率よく伝達する圧電素子ユニット及びインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。【構成】基板14の表面に露出したチタンを含む部分にのみ、選択的に水熱法でPZT(圧電体)層91を成長させ、PZT層の表面に電極92を形成している。基板表面に直接、PZT層91を成長させるので、基板との一体性がよく、圧電体の電気機械変換を効率よく伝達することができる。また、チタンを含む部分の形状をパターニングなどにより精度よく微細化でき、PZTの厚さも10μm程度の制御ができるので、圧電素子ユニットの微細化を実現することができる。

Claim (excerpt)：

基板の表面の一部を、チタンあるいはチタンを含む材料の表面とし、この表面に選択的に、水熱法によって形成した複数の圧電体層を備えることを特徴とする圧電素子ユニット。

IPC (5)：

H01L 41/083 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/22

FI (4)：

H01L 41/08 S ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/22 Z